ASML霸气发声:现有技术能让光刻机进入1纳米时代

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2022年5月18日14:22:25 评论 5,359次
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近日,ASML中国官员在微信推送内容中表示创新,让摩尔定律焕发光彩。

推文中有一句令人印象深刻的话,那就是ASML表示:在元件方面,目前的技术创新足以将芯片工艺推广至少1纳米节点,包括gate-all-around FETs,nanosheet FETs,forksheet FETs,以及complementary FETs等许多前瞻性技术。

ASML霸气发声:现有技术能让光刻机进入1纳米时代

不过1nm虽然还没有商业化,但确实不是各大芯片厂商的重点。纳米时代结束后,将进入埃米时代,台积电,Intel都制定了雄心勃勃的埃米工艺早期路线图,为下一个时代做准备。

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